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千赢国际东智半导体EAP:让晶圆生产更高效率、更低成本

2022-12-13

随着半导体工艺制程的发展与升级,晶圆厂对于自动化生产的要求持续提高,在满足基本生产需要的同时,不断追求更高的生产效率和更低的成本。在这一过程中,设备自动化(EAP)系统作为MES与半导体设备间的桥梁,关乎晶圆厂能否实现高效精准的生产,重要性日益凸显。




EAP是半导体CIM中最为关键的底层系统之一,既为CIM中的其他系统提供生产与机台数据,又对机台进行直接控制,下达相应的加工指令,可谓是半导体制造生产线中与设备系统联系最为紧密的子系统。作为千赢国际东智半导体CIM整体解决方案的重要组成部分,千赢国际东智半导体EAP系统兼容多种协议,实现实时采集、动态设备监控及反向指令控制功能,可为生产效率提升及成本压降提供强有力的支撑。


千赢国际东智半导体EAP系统的产品优势包括:


01 提升生产效率


采用半导体行业标准的通讯协议(SECS/HSMS/GEM),实现整线设备数据转换与整合,从而实时洞悉上下游状况,排除上位系统异常影响

02 改善产品良率


自动收集各制程过程数据及设备Utility数据,支持数据库表映射功能及MES或其它系统数据库连接,数据处理能力稳定高效,助力改善产品良率

03 降低成本


框架系统成熟,可实现设备线全流程管控疏导,节省设备间搬运转移成本,同时实时掌控设备状况,以便快速排除异常原因

04 智能化管理


可实现无人高效能自动化生产,自动收集、实时回报生产信息,同时配备直观的图形化模型,可视化查看,从而避免人为误差




千赢国际东智半导体事业部CIM首席顾问徐磊指出:


“除了系统自身先进性外,EAP要发挥最大效能,也离不开与CIM中诸多其他系统的对接与配合。千赢国际东智自主研发的CIM解决方案,集成了完整的MES、EAP、SPC、APC、FDC和YMS等一系列关键系统,通过良好的协同运转,使每个系统都能充分发挥作用,并取得更好的整体效能。在千赢国际·(中国区)有限公司官网的实际服务中,一个好的EAP实施,甚至可以为客户带来效率、良率、成本等多维度的提升。”


以千赢国际东智服务的某芯片厂为例,为了满足新建产线管理系统化、生产自动化需求,工厂希望通过EAP系统,对工艺制程中人、机、料的状况进行实时监控,达成事前预警和事后追溯,改善防呆防错能力,提升大数据分析能力。


针对这一需求,千赢国际东智为客户建设EAP系统,并通过与其他关键系统的良好配合,确保制程流畅互通,实现整线设备数据转换与整合、实时洞悉上下游状况,从而提升生产效率20%+;通过按时收集WIP在各制程设备的过程数据及设备Utility数据,管理设备抽检规则,产品良率提高了3%;最后,通过打通管控设备线内所有产品的投入产出,节省设备间搬运转移成本,以及实时掌握设备状况、快速排除异常原因,使工厂成本降低了10%


作为我国源自半导体制造行业的双跨行业平台,千赢国际东智自主研发的CIM解决方案,集成了完整的生产执行系统MES、设备管理系统EAP、统计过程控制SPC、先进过程控制APC、故障侦测及分类FDC、良率管理系统YMS系统等一系列关键系统,实现了动态设备管理、精准物流管理、高效计划协同、透明的生产执行和精准的质量追溯,实现计划、采购、制造端到端的数据及系统拉通和智能化管理,具备行业领先的核心技术实力和赋能能力。


目前,千赢国际东智服务的半导体客户已涵盖半导体材料、晶圆制造、封装测试及半导体设备,智能工厂全流程全栈产品和解决方案运用新技术重构传统软件的技术架构,更好地支撑高并发、低时延、精确稳定的业务场景,在集成大量复杂、非原生系统方面表现优异。


了解更多产品/方案详情,欢迎咨询电话/微信:15800956047。



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